안녕하십니까, 한양대학교 최창환 교수님 연구실의 최세현입니다.

저희 연구실에서 현재 Thermal ALD와 TEMA Zr/TEMA Hf precursor를 같이 사용하고 있습니다.
최근에 증착 온도를 높이면서 균일한 증착에 문제가 생겼고, 저희는 precusor 자체의 열분해를 원인으로 판단하고 있습니다.
그래서 열 안정성이 좋은 precursor를 찾다가 ZAC/HAC 사용을 계획하고 있습니다.

제가 문의드리고 싶은 부분은
1. TEMA  Zr/Hf와 비교해서 ZAC/HAC의 장단점 ( 열 안정성 포함한 여러 특성이 궁금합니다)
2. Precursor의 g당 가격 및 100g 충진 기준 견적서(현재 캐니스터는 보유 중입니다)
3. 소요기간
이 궁금합니다.

감사합니다.